價格
電議
型號
FT-3110B
品牌
瑞柯微
所在地
暫無
更新時間
2025-10-31 12:23:57
瀏覽次數
次
功能介紹Function Introduction
四點探針法、全自動化運行測量系統
PC軟件采集和數據處理、ASTM方法
自動正/負電流輸出，自動正/負電壓測量
FT-3110B全自動四探針測試儀
測量電阻率、方塊電阻、厚度
可調探針壓力、測試點數、多種模式
顯示2D,3D掃描/數值圖、溫濕度值
提供標準校準電阻件、數據統計分析
適用范圍Scope of application
晶圓、非晶硅/微晶硅和半導體襯底電阻率測量；選擇性發射極擴散片；
表面鈍化片；交叉指樣PN結擴散片；*電極設計，如電鍍銅電阻測量等；
FT-3110B全自動四探針測試儀
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規格型號 |
FT-3110B（可擴展） |
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1.方塊電阻 |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
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2.電阻率 |
10-7～2×106Ω-cm |
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3.測試電流 |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
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4.電阻精度 |
≤0.3%（標準電阻） |
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5.PC軟件操作 |
PC軟件界面：電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報表生成等 |
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6.壓力范圍 |
探針壓力可調范圍：100-500g |
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7.探針 |
鎢鋼材質，探針間距1mm；機械游移率：≤0.3%；其他規格可定制 |
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8.載臺類型及尺寸選購 |
選購1:圓形載臺晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 選購2：方片載臺尺寸：153mm*153mm范圍內定制規格 |
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9.分析模式 |
單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試 |
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10.重復性 |
單點重復性：重復性≤0.5% |
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11.防護功能 |
具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 |
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12.電源 |
輸入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W |
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京公網安備 11010802023672號
FT-3110B全自動四探針測試儀，采用四點探針法、全自動化運行測量系統。使用PC軟件采集和數據處理、符合ASTM方法，儀器自動正/負電流輸出，自動正/負電壓測量。