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FS4000是采用的微機電系統（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環境采樣器（如色譜分析儀器等）
FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍大到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍大到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
產品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點穩定度高
- 全量程高穩定性、高度和優良的重復性
- 低功耗、低壓損
- 響應速度快
機械尺寸:
性能參數
FS4003
FS4008
單位
通徑
3
8
mm
大流量
2 3 4 5
10 20 30 40 50
SLPM
量程比
100:1
精度
±(1.5+0.2FS)
%
重復性
0.75
零點輸出飄移
±30
mV
輸出飄移
0.12
%/oC
響應時間
100
ms
工作電源
8~18Vdc100mA
輸出方式
線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損
600
pa
大工作壓力
0.5
MPa
工作溫度
-10 ~ +55
oC
存儲溫度
-20 ~ +65
工作濕度
<95%RH（無結冰、無凝露）
機械接口
BSPT1/4(R1/4)4mm/6mm/8mm快速接頭
校準方式
空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量
57（帶R1/4BSPT1/4接口） 71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)
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FS4000是采用的微機電系統（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環境采樣器（如色譜分析儀器等）
FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍大到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍大到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
產品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點穩定度高
- 全量程高穩定性、高度和優良的重復性
- 低功耗、低壓損
- 響應速度快
機械尺寸:
性能參數
FS4003
FS4008
單位
通徑
3
8
mm
大流量
2 3 4 5
10 20 30 40 50
SLPM
量程比
100:1
精度
±(1.5+0.2FS)
%
重復性
0.75
%
零點輸出飄移
±30
mV
輸出飄移
0.12
%/oC
響應時間
100
ms
工作電源
8~18Vdc100mA
輸出方式
線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損
100
600
pa
大工作壓力
0.5
MPa
工作溫度
-10 ~ +55
oC
存儲溫度
-20 ~ +65
oC
工作濕度
<95%RH（無結冰、無凝露）
機械接口
BSPT1/4(R1/4)4mm/6mm/8mm快速接頭
校準方式
空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量
57（帶R1/4BSPT1/4接口）
71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)
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