WP-02系列是ULVAC專為中低真空度、高潔凈度應用打造的干式螺旋爪式真空泵。與傳統油泵不同，它在壓縮腔內完全不需要密封油，從根源上杜絕了油蒸氣返流污染工藝腔體的風險。

• *潔凈：排氣無油霧，無需安裝復雜的油霧過濾器，特別適合對碳氫化合物敏感的光學鍍膜和半導體工藝。
• 結構創新：采用非接觸式的螺旋爪轉子設計，轉子之間、轉子與泵腔之間保持微小間隙，無機械摩擦。這不僅消除了磨損產生的微塵，更大幅延長了設備壽命。

1. *的耐腐蝕與耐溶劑性

在許多化學氣相沉積（CVD）或清洗工藝中，工藝氣體往往含有腐蝕性成分或易凝結溶劑。WP-02通過優化的氣路設計和特殊的表面涂層處理，能夠有效防止腐蝕性氣體對泵體的侵蝕，并能順暢排出少量冷凝液，避免泵體卡死。相比普通干泵，其在惡劣工況下的穩定性表現尤為突出。

2. *的節能與靜音

得益于高效的電機驅動系統和優化的流體動力學設計，WP-02在提供穩定抽速的同時，能耗顯著低于同級別的油旋片泵。其運行噪音控制在極低水平（通常低于65dB），為操作人員創造了更加舒適的工作環境，也符合現代工廠嚴格的環保降噪標準。

3. “免維護”帶來的低成本運營（TCO）

對于工廠管理者而言，WP-02*的魅力在于極低的維護成本。

• 無換油成本：省去了購買真空泵油的費用。
• 無廢油處理費：不再需要支付昂貴的危廢處理費用，符合日益嚴格的環保法規。
• 長周期保養：由于無內部摩擦，主要易損件極少，通常只需年度檢查即可，大幅減少了因停機保養造成的產能損失。據實際案例測算，使用WP-02替代傳統油泵，3年內的綜合運營成本可降低30%-40%。