價格
電議
型號
PT-5SM
品牌
深圳三和波達機電科技有限公司
所在地
廣東省 深圳市
更新時間
2020-07-07 21:50:02
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京公網(wǎng)安備 11010802023672號
粉體石英腔體等離子清洗機
PT-5SM型是雙路氣體輸入，
腔體材質(zhì)： 石英
供電電源： AC220V
工作電流： 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率： 0-200W可調(diào)
射頻頻率： 20.0MHz（偏移量小于0.2KHz）
頻率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動匹配
真空度： 1pa-30Pa
氣體路數(shù)： 雙路氣體輸入
氣體流量： 10—100ml/min(可調(diào))
過程控制： PLC人機界面自動與手動方式
清洗時間： 1-99999秒鐘可調(diào)
功率大小 10%-可調(diào)
內(nèi)腔尺寸 直徑150mm×270mm PT-5SM 容量5L
外形尺寸： PT-5SM型_600mmx500x480mm
重量： 45Kg
真空泵： 抽速4L/S
真空室溫度： 小于30°C
冷卻方式： 強制風(fēng)冷